박막 증착을 위한 진공
IMPD_lab
2024-06-26
조회수 315
박막 증착을 위한 진공
419-1 C5, 80, Jigok-ro, Nam-gu, Pohang-si,
Gyeongsangbuk-do, Republic of Korea [37666]
swchung@postech.ac.kr
©2023 INNOVATIVE MEMORY PROCESS AND DEVICE. ALL RIGHTS RESERVED.
419-1 C5, 80, Jigok-ro, Nam-gu, Pohang-si, Gyeongsangbuk-do, Republic of Korea [37666]
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* 진공도는 압력의 log scale, 힘이나 유량은 압력의 linear scale이라는 점을 강조하고 싶다.
예를 들어 1torr에서 1mtorr로 진공도를 높이려 할 때 챔버의 벽면이 받는 힘은 1기압과 1torr의 차이, 또는 1기압과 1mtorr의 차이로 거의 1기압에 해당하는 힘을 받는다. 만약 미세한 틈이 있어서 이를 통해 외부의 공기가 챔버로 들어간다면 이때 유량은 conductance x pressure에 해당하므로 진공도에 관계없이 같은 속도로 공기가 새어 들어가게 된다. 나아가서 큰 틈부터 막아야 작은 틈이 보인다는 점이 진공도를 유지하기 어렵게 만드는 요인이 된다.
* 반면, 고압 가스를 가두는 용기는 외부가 대기압인 반면 내부는 수 기압, 수십 기압에 이르기 때문에 용기가 받는 힘은 진공 챔버에 비해 훨씬 큰 힘을 버텨야 한다.
* 힘의 방향이 용기의 내부에서 외부로 향한다는 점도 가스 용기와 진공과 다르다. 예를 들어 평면의 약한 용기라면 고압가스에서는 바깥쪽으로 부풀어 오를 것이고, 진공에서는 안쪽으로 쪼그러들게 된다.
* 알아두면 편한 진공에 관련한 인자들과 숫자 정보를 정리했다.