실험실 최초의 전용 공정 장비 (멀티건 스퍼터)
2025-02-09
419-1 C5, 80, Jigok-ro, Nam-gu, Pohang-si,
Gyeongsangbuk-do, Republic of Korea [37666]
swchung@postech.ac.kr
©2023 INNOVATIVE MEMORY PROCESS AND DEVICE. ALL RIGHTS RESERVED.
419-1 C5, 80, Jigok-ro, Nam-gu, Pohang-si, Gyeongsangbuk-do, Republic of Korea [37666]
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여러 가지 새로운 물질의 가능성을 타진하기 위한 초기 연구에 주로 활용할 계획.
2개의 dc magnetron target과 1 개의 rf magnetron target에 기판 온도 증가 기능이 있어 활용도가 높은 것을 기대한다.